1樓：領拓檢測
首先原理上， 背散射電子只發生在試樣表層幾十個奈米的深度範圍，所扮察以試樣表面的殘餘應變層(或稱變形層、擾亂層)、氧化膜以及腐蝕坑等缺陷都會影響甚至完全抑制ebsd的發生。
一定一定儘量達到試樣表面無應力層、無氧化層、無連續的腐蝕坑、表面起伏不能過大、表面清潔無汙染。
以下是需要注意到的制樣過程中部分問題及方法。
1、樣品切割過程中造成損傷，比如金屬材料燒傷、硬材料碎裂、軟材料-變形。
1)選擇正確的切割片冷卻充足。
2)精密切割。
3)硬脆易碎，雙邊夾持。
4)易變形，降低進給。
5)根據表面粗糙度適當延長粗磨時間。
2、鑲嵌（鑲嵌的目的：小樣品便於機械磨拋，增加導電性，不鑲能制樣亦可）
1)導電樹脂選擇(熱/冷、導電性、固化時間)
2)上下磨穿試樣。
3)樹皮友脂中取出樣品。
4)導電膠，噴/鍍金屬膜。
5)選擇小尺寸模具樣品。
6)鑲嵌在邊緣位置。
7)試樣做薄。
3、樣品拋光 此步驟為極為重要，一定要避免劃痕、浮凸、流變、殘餘應變。
我們在調研過程中考慮裝置成本以及樣品多樣性，放棄了fib以及電解拋光手段。
目前製備採用機械拋光+振動拋光以及離子束拋光、切割技術，以下為部分操作使用經驗：
機械拋光。>注：在機械拋光後仍能經常觀察到粗拋時留下的粗大劃痕，需要重新精磨及振動拋光，另外各廳握茄廠家耗材方案也很重要，可結合樣品諮詢相關的搭配耗材以及步驟方案。
振動拋光：原理：將工件放入磨料懸浮液中並一起置於超聲波場中，依靠超聲波的振盪作用，讓磨料在工件表面磨削拋光。超聲波加工巨集觀力小，不會引起工件變形。
振動拋光能夠去除機械拋光遺留下來的殘餘應力和微小劃痕，它的目的是針對各種不同材料用製備出高品質拋光表面。
離子束技術。
離子束拋光：我們在得到乙個較好的拋光表面後，仍不可避免地存在一些應力損傷，可繼續採用離子束拋光技術 原理是 ar離子束轟擊，無磨料汙染、無劃痕、試樣損傷小、機械變形小。適合ebsd提高標定率。
拋光區域遠大於fib拋光區。
另外如針對難拋光的軟材料，多層複合材料，或者顆粒粉末 ，可跳過機械拋光直接採用離子束切割技術。
<>目前我們有標樂的金相制樣裝置一套，以及leica的三離子束拋光儀。歡迎互相多交流，有需要可聯絡我，寄樣過來交流一下樣品處理經驗效果。
2樓：du知道君
方法：有固體溶劑壓片和直接使用粉羨則末壓片。
注意：使用固體溶劑壓片是其溶劑的性質不能與待 測物質相近，然後就是溶劑的使用量的問題兄攔棚。直接壓衡緩片時晶粒要細小，試樣取向無規則。
ebsd制樣方法有那些?
3樓：領拓
ebsd制樣方法分為三類：
電解拋光。以金屬工件為陽極，在適宜的電解液中進行電解，有選擇地除去其粗糙面，提高表面光潔程度的技術，稱為電解宴攜含拋光。電解拋光可增加不鏽鋼的耐腐蝕性，減少電氣接觸點的電阻，製備金相磨片，提高照明燈具的反光效能，提高各種量具的精度，美化金屬日用品和工藝品等，適用於鋼鐵、鋁、銅、鎳及各種合金的拋光。
振動拋光。振動拋光是利用振動動能傳遞給研磨介質，使研磨介質產生高隱豎速運動，對工件表面進行研磨加工的一種表面處理技術，它利用振動力和磨料的作用，對材料表面進行研磨和拋光，以達到改善表面質量和提高材料效能的目的。
離子束拋光。
離子束拋光，是指利用中性離子束流轟擊工件，去除其表面一定區域的晌笑原子或分子，達到超光滑拋光的目的。
領拓儀器可提供多種ebsd制樣服務。
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